超高精度激光位移傳感器CDX系列
業(yè)界超高的線性精度±0.018%F.S.
采用最新的感光元器件ATMOS
無反饋式的超速快門
激光等級(jí)Class也可穩(wěn)定測(cè)量
高速測(cè)量采樣周期max：12.5μs
無需外加控制器，可直接連接網(wǎng)絡(luò)
搭載WEB服務(wù)器
CDX系列
業(yè)界超高線性精度的激光位移傳感器。
- 采用最新研發(fā)的感光元器件ATMOS
- 直接與Ethernet連接
- 搭載WEB服務(wù)器
應(yīng)用
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| 凸輪軸的形狀測(cè)量 | 傳動(dòng)器的平整度測(cè)量 | 輪胎的外觀測(cè)量 |
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線性精度 ±0.015%F.S. ※ 與其他三角形測(cè)量方式的漫反射型激光位移傳感器相比。
線性精度比較
以上測(cè)試結(jié)果輕松超出目錄規(guī)格表中的[±0.015%F.S.]， 當(dāng)屬業(yè)界最高的線性精度。 與以往產(chǎn)品相比，測(cè)量精度實(shí)現(xiàn)壓倒性的優(yōu)勢(shì)。 ※ 被測(cè)物傾斜角度: ±0°。漫反射模式。
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Advanced Opto-technology & High-rigidity design 先進(jìn)的光學(xué)系統(tǒng)及高剛性機(jī)殼，實(shí)現(xiàn)前所未有的線性精度 為實(shí)現(xiàn)超高的測(cè)量精度，采用最新研發(fā)的的光學(xué)系統(tǒng)及獨(dú)立單元結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的高剛性機(jī)殼。 高精度·高速同時(shí)兼顧，有效排除導(dǎo)致測(cè)量誤差的影響因素。
New algorithm 采用新開發(fā)的獨(dú)立算法，有效提高其線性精度。 基于徹底的反復(fù)評(píng)估該算法，實(shí)現(xiàn)測(cè)量的超高精度。 |
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| 智能手機(jī)的外殼高度測(cè)量（正反射模式） | 玻璃基板的平整度測(cè)量（正反射模式） | 大直徑鉆頭的震動(dòng)幅度測(cè)量 |
高精度·高速·高穩(wěn)定性的新型感光元器件
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最新研發(fā)的感光元器件：ATMOS
CDX系列采用最新研發(fā)的“ATMOS”感光元器件（圖像傳感器）。 精度比以往產(chǎn)品提高2.7倍以上；實(shí)現(xiàn)業(yè)界最高的線性精度。 ATMOS：Auto Tuning cMOS |
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無反饋式的超高速快門
傳統(tǒng)的感光元器件，當(dāng)被測(cè)物從亮色瞬間變化為暗色（受光量急劇變化）時(shí)，快門]的控制跟不上，有可能出現(xiàn)瞬間檢測(cè)不到的可能。 最新研發(fā)的“ATMOS”感光元器件，采用業(yè)界首創(chuàng)的算法，無需快門反饋控制，消除瞬間檢測(cè)不到或響應(yīng)延時(shí)等異常現(xiàn)象，實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)測(cè)量。 |
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即使激光等級(jí)Class1也可穩(wěn)定測(cè)量
即便采用Class1等級(jí)的激光，但由于“ATMOS”感光元器件的超高靈敏度，CDX系列也可保證較高的穩(wěn)定性。 檢測(cè)輪胎等黑色物體時(shí)，就算不使用高功率的激光也可實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量。 不僅確保對(duì)人眼的安全性保護(hù)，也可實(shí)現(xiàn)檢測(cè)黑色物體的穩(wěn)定性。
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高速測(cè)量:采樣周期Max.12.5μs
超高靈敏度的“ATMOS“”感光元器件，測(cè)量時(shí)最大限度的縮短漏光時(shí)間，提高快i門的速度。 最快采樣周期12.5μs，較以往傳感器提高8倍以上，完全滿足要求高速測(cè)量的應(yīng)用。  |
※ 采樣周期12.5μs時(shí)，測(cè)量范圍有所限制。詳情請(qǐng)參考P.9。
無需外加控制器,可直接連接網(wǎng)絡(luò)
直接與Ethernet連接 
CDX系列內(nèi)置Ethernet通信功能，因此無需外加控制器,可以直接與網(wǎng)絡(luò)連接。不僅在系統(tǒng)配置成本.上削減了另購(gòu)控制器的費(fèi)用,而且節(jié)省了不少安裝空間。
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需要模擬量電流輸出或開關(guān)量輸出的情況時(shí)
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激光位移傳感器控制單元CDA-M
CDA-M模塊搭載視認(rèn)性較高的有機(jī)EL顯示器，可顯示日文·英文兩種語言。配置模擬量電流輸出·開關(guān)量輸出等兩種控制輸出，同時(shí)連接2臺(tái)激光位移傳感器時(shí)可實(shí)現(xiàn)厚度測(cè)量·段差測(cè)量等演算。 |
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| 型號(hào) | CDA-M | |
| 連接傳感器 （CDX系列） |
連接臺(tái)數(shù) | Max. 2臺(tái) |
| 連接方式 | CDA端：M8 4針連接器 | |
| 電源顓定值 | 電源電壓 | DC12~24V ±10% |
| 消耗電流 | 100mA以下（12V時(shí)） | |
| 表示 | 點(diǎn)陣顯示器 | 有機(jī)EL顯示器 128x 96像素 |
| 指示燈 | 電源指示燈：紅/綠色 輸出1~3指示燈：橙色 | |
| 模擬量電流輸出 | 4~20mA/F.S. 負(fù)載阻抗300Ω以下 | |
| 開關(guān)量輸出 | 集電極開路（NPN/PNP功能內(nèi)切換）3CH輸出 Max 100mA/DC30V 殘留電壓：1.8V以下 |
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| 外部輸入 | 2點(diǎn) | |
| 連接方式 | 電纜式：2m電纜線 Φ5.8mm | |
| 耐環(huán)境性 | 使用環(huán)境溫度/濕度 | -20~+50℃/35~85%RH（無結(jié)露·結(jié)冰） |
| 存儲(chǔ)環(huán)境溫度/濕度 | -20~+60℃/35~85%RH (無結(jié)露·結(jié)冰） | |
| 抗震動(dòng) | 10~55Hz雙振幅1.5mm X, Y, Z各方向2小時(shí) | |
| 耐撞擊 | 約50G（500m/S2）X, Y,Z各方向3次 | |
| 保護(hù)電路 | 反接保護(hù) | |
| 防護(hù)等級(jí) | IEC規(guī)格 IP50 | |
| 材質(zhì) | 聚碳酸酯（PC） | |
| 質(zhì)量 | 170g | |
- CDX系列連接CDA模塊時(shí)，不能進(jìn)行CC-Link通信。需要CC-Link通信時(shí)請(qǐng)另購(gòu)CC-Link通信單元UC1系列（CDX系列+CDA系列+UC1系列）。
- CDX系列連接CDA模塊時(shí)，不能通過CDA模塊來設(shè)定·更改CDX系列本體內(nèi)的設(shè)定值。詳情請(qǐng)參考CDX系列的操作說明書資料。
- CDA模塊可使用·設(shè)定的開關(guān)量輸出：僅CDX系列的CH1。
- 連接CDX長(zhǎng)距離機(jī)型時(shí)CDA模塊模擬量電流輸出時(shí)的分辨率（重復(fù)精度）比規(guī)格有所降低，如下所示。敬請(qǐng)注意。
CDX-85A/-W85A：0.8μm CDX-150A/-W150A：1.6μm
另外，CDX的平均采樣次數(shù)設(shè)定值過小導(dǎo)致CDX的分辨率（重復(fù)精度）下降時(shí)，CDA-M輸出的模擬量信號(hào)的分辨率（重復(fù)精度）也隨之下降。
搭載WEB服務(wù)器
無需設(shè)定軟件
CDX系列本體搭載WEB服務(wù)器。因此CDX可直接連接PC，通過Web瀏覽器查看·更改傳感器的測(cè)量值/設(shè)定值等內(nèi)容，無需配置專用的PC操作軟件。
瀏覽器規(guī)格：Intermat Explorer Ver.11以上、Google ChromB49以上
| 主要功能 |
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可顯示測(cè)量值及其變化曲線圖。 也可直觀反映歸零的設(shè)定結(jié)果。 同時(shí)顯示4CH開關(guān)量輸出，可顯示各CH輸出的位移量、厚度、速度、加速度等測(cè)量?jī)?nèi)容。 |
最多可保存測(cè)量值數(shù)量：100,000個(gè)。 通過Web瀏覽器，可查閱保存的測(cè)量值數(shù)據(jù)或?qū)⒈４鏀?shù)據(jù)下載至 .CSV格式文件。 |
通過查閱顯示的受光波形，可確認(rèn)傳感器的受光量狀態(tài)及安裝角度是否理想。 另外，如果測(cè)量范圍內(nèi)存在不需要檢測(cè)的對(duì)象或環(huán)境亂光干擾，可以使用新開發(fā)的遮蓋功能將該干擾區(qū)域屏蔽掉，提供傳感器的穩(wěn)定性。 |
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其他功能 |
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系統(tǒng)配置
?可選購(gòu)件
電纜源 · 連接器
| 種類 | 規(guī)格 | 線長(zhǎng) | 型號(hào) |
感應(yīng)頭延長(zhǎng)線 |
感應(yīng)頭與連接器單元之間的專用延長(zhǎng)線 最長(zhǎng)可延長(zhǎng)至20m 機(jī)械手專用的高柔性電纜線
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2m | DSC-1208-G02MA |
| 5m | DSC-1208-G05MA | ||
| 10m | DSC-1208-G10MA | ||
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Ethernet 電纜線 |
連接器單元與Ethernet端口之間的專用電纜線 機(jī)械手專用的高柔性電纜線
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2m | SSL -2J04-G02ME-R |
| 5m | SSL -2J04-G05ME-R | ||
| 10m | SSL-2J04-G10ME-R | ||
| 電源·外部輸入 電纜線  |
連接器單元的電源·外部輸入電纜線
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2m | DOL-1204-G02M |
| 5m | DOL-1204-G05M | ||
連接器單元 |
感應(yīng)頭與各種電纜線連接的連接器單元 感應(yīng)頭附帶的標(biāo)配品 |
—— | SYL-1208-G0M |
控制器單元 · 專用電纜線
| 種類 | 規(guī)格 | 線長(zhǎng) | 型號(hào) |
控制器單元 |
最多可同時(shí)連接2臺(tái)傳感器。 配置模擬量電流輸出及開關(guān)量輸出，并可同時(shí)連接2臺(tái)傳感器 實(shí)現(xiàn)厚度 · 段差測(cè)量等應(yīng)用的演算。 |
2m | CDA-M |
| 傳感器·控制器單元 連接的電纜線  |
連接器單元與控制器單元之間的專用電纜線 機(jī)械手專用的高柔性電纜線
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2m | DSL-1 204-G02M |
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傳感器·控制器單元 之間的延長(zhǎng)線 |
DSL-1204-G02M的延長(zhǎng)電纜線 機(jī)械手專用的高柔性電纜線
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2m | DSL-0804-G02M |
| 5m | DSL-0804-G05M |
- 連接控制器單元使用時(shí)，請(qǐng)將電纜線總長(zhǎng)度（傳感器延長(zhǎng)線+連接傳感器 · 控制器單元的電纜線+傳感器·控制器單元之間的延長(zhǎng)線）控制在10m以內(nèi)。
- 連接控制器單元使用時(shí)，不能通過CDA模塊來設(shè)定 · 更改CDX系列本體內(nèi)的設(shè)定值。詳情請(qǐng)參考CDX系列的操作說明書資料。
- 控制器單元可使用·設(shè)定的開關(guān)量輸出：僅CDX系列的CH1。
- 連接控制器單元使用時(shí)，CDX系列不能進(jìn)行CC-Link通信。需要CC-Lnk通信時(shí)請(qǐng)另購(gòu)CCL ink通信單元UC1系列（CDX系列+CDA系列+UC1系列）。
- 連接CDX長(zhǎng)距離機(jī)型時(shí)CDA模塊模擬量電流輸出時(shí)的分辨率（重復(fù)精度）比規(guī)格有所降低，如下所示。敬請(qǐng)注意。
- CDX- 85A/-W85A: 0.8μm CDX-150A-W150A: 1.6μm
另外, CDX的平均采樣次數(shù)設(shè)定值過小導(dǎo)致CDX的分辨率（重復(fù)精度）下降時(shí)，CDA-M輸出的模擬量信號(hào)的分辨率（重復(fù)精度）也隨之下降。
參數(shù)
感應(yīng)頭（不同型號(hào)規(guī)格）
| 型號(hào) | CDX-L15A | CDX-LW15A | CDX-30A | CDX-W30A | |||
| 光學(xué)方式/檢測(cè)模式 | 正反射模式 | 漫反射模式 | 正反射橫式 | 漫反射模式 | 正反射橫式 | ||
| 測(cè)量范圍影 ※1 | 15±1mm | 30±5mm | 25.5±3.0mm | 30±5mm | 25.5±3.0mm | ||
| 光源 | 介質(zhì) | 紅色半導(dǎo)體激光 | |||||
| 波長(zhǎng) | 655nm | ||||||
| 最大輸出功率 | 0.39mW | ||||||
| 激光等級(jí) | JIS/IEC | CLASS 1 | |||||
| FDA ※2 | CLASS 1 | ||||||
| 光斑尺寸 ※3 | Φ30μm | 30x1000μm | Φ30μm | 30x1000μm | |||
| 線性精度 |
±0.05% F.S. （±1.0μm） |
±0.03% F.S. （±3.0μm） |
±0.04% F.S. （±2.4μm） |
±0.015% F.S. （±1.5μm） |
±0.04% F.S. （±2.4μm） |
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| 分辨率 ※4 | 0.25μm | 0.25μm | 0.25μm | ||||
| 重復(fù)精度 ※5 | 0.25μm | 0.25μm | 0.25μm | ||||
| 采樣周期 | 12.5μs / 25μs / 50μs / 100μs / 200μs / 500μs / 1ms / Auto | ||||||
| 濕度漂移 | -10~+40℃ | ±0.02% F.S./℃ | ±0.03% F.S./℃ | ±0.01% F.S./℃ | ±0.02% F.S./℃ | ||
| +40~+50℃ | ±0.03% F.S./℃ | ±0.1% F.S./℃ | ±0.03% F.S./℃ | ±0.04% F.S./℃ | |||
| 重量 | 約300g（包含500mm的電纜線） | 約280g（包含500mm的電纜線） | |||||
參數(shù)
感應(yīng)頭（不同型號(hào)規(guī)格）
| 型號(hào) | CDX-85A | CDX-W85A | CDX-150A | CDX-W150A | |||
| 光學(xué)方式/檢測(cè)模式 | 漫反射模式 | 正反射模式 | 漫反射模式 | 正反射橫式 | 漫反射模式 | ||
| 測(cè)量范圍影 ※1 | 85±20mm | 81.5±10.0mm | 85±20mm | 81.5±10.0mm | 150±140mm | ||
| 光源 | 介質(zhì) | 紅色半導(dǎo)體激光 | |||||
| 波長(zhǎng) | 655nm | ||||||
| 最大輸出功率 | 0.39mW | ||||||
| 激光等級(jí) | JIS/IEC | CLASS 1 | |||||
| FDA ※2 | CLASS 1 | ||||||
| 光斑尺寸 ※3 | Φ70μm | 70x2000μm | Φ120μm | 120x4000μm | |||
| 線性精度 |
測(cè)量范圍65-85mm： ±0.018% F.S. （±7.2μm） 測(cè)量范圍85~105mm： ±0.03% F.S. （±12.0μm） |
±0.03% F.S. （±6.0μm） |
±0.015% F.S. （±6.0μm） |
±0.03% F.S. （±6.0μm） |
測(cè)量范圍110-150mm： ±0.03% F.S. （±24μm） 測(cè)量范圍150-190mm： ±0.04% F.S. （±32μm） |
±0.015% F.S. （±12μm） |
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| 分辨率 ※4 | 0.25μm | 0.25μm | 0.25μm | ||||
| 重復(fù)精度 ※5 | 0.25μm | 0.25μm | 0.25μm | ||||
| 采樣周期 | 12.5μs / 25μs / 50μs / 100μs / 200μs / 500μs / 1ms / Auto | ||||||
| 濕度漂移 | -10~+40℃ | ±0.01% F.S./℃ | |||||
| +40~+50℃ | ±0.03% F.S./℃ | ||||||
| 重量 | 約280g（包含500mm的電纜線） | ||||||
| 測(cè)試條件 |
無特別注明的測(cè)試條件如下所示： 使用環(huán)境溫度：25℃（常溫）、電源電壓：DC24V、采樣周期：25μs、平均采樣次數(shù)：256、中值濾波器：31、檢測(cè)距離：中心位置、測(cè)試物體：標(biāo)準(zhǔn)工件（正反射：鋁蒸鍍鏡、漫反射：可視光遮蔽性陶瓷）。 |
※1 采樣周期設(shè)定為最快速度（12.5μs）時(shí)，測(cè)量范圍變短。請(qǐng)參考下表近端/中心/遠(yuǎn)端分別對(duì)應(yīng)的測(cè)量范圍，選擇所需的測(cè)量范圍。
| 型號(hào) | 測(cè)量范圍 | |||
| 近端 | 中心 | 遠(yuǎn)端 | ||
| CDX-L15A/-LW15A | 14.0 ~ 14.6mm | 14.4~ 15.4mm | 15.3~ 16.0mm | |
| CDX-30A/-W30A | 漫反射模式時(shí) | 25.0~ 28.1mm | 27.8~ 31.9mm | 31.1~ 35.0mm |
| 正反射模式時(shí) | 22.5 ~ 24.0mm | 22.8~ 27.9mm | 26.7 ~ 28.5mm | |
| CDX 85A/-WB5A | 漫反射模式時(shí) | 65.0~ 77.7mm | 73.5~ 90.8mm | 84.8~ 105.0mm |
| 正反射模式時(shí) | 71.5~ 74.3mm | 70.6~ 86.9mm | 81.0~ 91.5mm | |
| CDX-150A/-W150A | 110.0~ 134.4mm | 124.8~ 166.3mm | 150.2~ 190.0mm | |
※2 符合FDA的Laser Notice No.50規(guī)定、屬于IEC 60825-1：2007標(biāo)準(zhǔn)的CLASS 1等級(jí)。
※3 以檢測(cè)中心距離為準(zhǔn)，中心光束強(qiáng)度的1/e2 (13.5%)來界定。界定的光斑尺寸范圍以外有漏光、或光束周邊存在比被測(cè)物體反射率高的物體時(shí)，有可能出現(xiàn)誤檢。
※4 每隔3秒改變一次傳感器和被測(cè)物之間的距離。在一個(gè)方向上以一個(gè)步距一個(gè)步距的遞增/遞減檢測(cè)距離，傳感器能夠辨別的最小步距為分辨率（平均采樣次數(shù)：65536次時(shí)）。
※5 檢測(cè)完全靜止?fàn)顟B(tài)下的被測(cè)物時(shí)，測(cè)量值波動(dòng)的最大幅度（平均采樣次數(shù)：65536次時(shí)）。
感應(yīng)頭（共通規(guī)格）
| 電源電壓 | DC12~24V ±10% | |
| 消耗電流 | 180mA(DC24V時(shí)) | |
| 通信接口 | Ethernet(100BASE-TX) / IEEE1588 | |
| 外部輸入 | 激光關(guān)閉、保持/復(fù)位功能、開始保存(數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器) 、歸零設(shè)定等可選擇 | |
| 指示燈 | Link指示燈(綠) /電源指示燈(橙/綠/藍(lán)/紅) | |
| 防護(hù)等級(jí) | IP67 (包含連接器) | |
| 使用環(huán)境溫度/濕度 | -10~+50"C / 35~85% RH (無結(jié)露·結(jié)冰) | |
| 存儲(chǔ)環(huán)境溫度/濕度 | -20~+60C / 35~85% RH (無結(jié)露·結(jié)冰) | |
| 使用環(huán)境照度 | 白熾燈：3000lx 以下、熒光燈：10000lx 以下 | |
| 抗震動(dòng) | 10~55Hz雙振幅1.5mm X, Y, Z各方向2小時(shí) | |
| 耐撞擊 | 50G (500m/s-) X, Y,乙各萬可3次 | |
| 適用法令 | EMC | EMC指令(2014/30/EU) |
| 環(huán)境 | RoHS指令(2011/65/EU)、電池指令(2006/66/EC)、中國(guó)RoHS(指令第32號(hào)) | |
| 安全 | FDA規(guī)定(21 CFR 1040.10及1040.11)※8 | |
| 適用規(guī)格 | EN 60947-5-2:2007 / A1:2012，IEC 60825-1:2007及2014 | |
| 預(yù)熱時(shí)間 | 約30分鐘 | |
| 材質(zhì) | 本體：鋁壓鑄 鏡頭板：玻璃 | |
※6 與Laser Notice No.50的不同點(diǎn)除外。